項目名稱：北京懷柔實驗室 2023年第二批科研設(shè)備采購項目

項目編號：1495-234thhrlab02/03

(資料圖)

招標(biāo)范圍：產(chǎn)品名稱：聚焦離子束電子束雙束顯微鏡 數(shù)量：1臺 簡要技術(shù)規(guī)格：聚焦離子束電子束雙束顯微鏡(FIB-SEM)是一種半導(dǎo)體檢測設(shè)備，具體規(guī)格如下： 1)用于晶圓上各項工藝后的形貌觀察及納米級檢測(SEM)，電子束束流滿足Min.小于等于1pA； 2)用于實現(xiàn)對樣品進(jìn)行離子束切割加工功能(FIB)，離子束束流滿足Min.小于等于1pA； 3)用于實現(xiàn)三維形貌觀察分析； 4)用于實現(xiàn)電路修復(fù)； 5)用于實現(xiàn)EDS及EBIC功能； 6)適用于6英寸及以下晶圓。

招標(biāo)機構(gòu)：天恒招標(biāo)有限公司

招標(biāo)人：北京懷柔實驗室

開標(biāo)時間：2023-06-08 09:30

公示時間：2023-06-12 18:18 - 2023-06-15 23:59

中標(biāo)結(jié)果公告時間：2023-06-16 11:08

中標(biāo)人：恒裕通有限公司

制造商：Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o/Bruker Nano GmbH/point electronic GmbH

制造商國家或地區(qū)：捷克

關(guān)鍵詞：