項目名稱：北京懷柔實驗室2023年第四批科研設備采購項目

項目編號：1495-234thhrlab04/03

【資料圖】

招標范圍：產(chǎn)品名稱：臺階儀設備 數(shù)量：2臺 簡要技術規(guī)格：臺階儀是一種半導體芯片過程檢測設備，具體規(guī)格如下： 1)臺階儀1臺，用于金屬前道工藝量測硅片表面介質膜干法刻蝕的臺階，重復性≤0.45埃； 2)臺階儀1臺，用于金屬后道工藝量測硅片表面介質膜濕法腐蝕的臺階，重復性≤0.45埃。

招標機構：天恒招標有限公司

招標人：北京懷柔實驗室

開標時間：2023-06-30 09:30

公示時間：2023-07-03 17:14 - 2023-07-06 23:59

中標結果公告時間：2023-07-07 14:24

中標人：瑞德儀實業(yè)有限公司

制造商：Bruker Nano Inc.

制造商國家或地區(qū)：馬來西亞

關鍵詞：