11月8日，2018中國集成電路產(chǎn)業(yè)促進(jìn)大會半導(dǎo)體硅材料主題研討會在重慶市南坪國際會展中心舉行，論壇以“半導(dǎo)體硅材料產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化突破”為主題，并由洛陽中硅高科技有限公司總工程師嚴(yán)大洲主持，來自相關(guān)領(lǐng)域知名企業(yè)機構(gòu)的11位領(lǐng)軍人物會聚現(xiàn)場，從相關(guān)政策支持、企業(yè)自身發(fā)展、產(chǎn)業(yè)規(guī)模變遷等角度，重點討論了國內(nèi)半導(dǎo)體硅材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢和應(yīng)對策略。

工業(yè)和信息化部賽迪研究院原材料工業(yè)研究所所長肖勁松作了題為“重點新材料首批次應(yīng)用保險補償政策解讀”的發(fā)言，他指出，新材料首批次機制堅持“政府引導(dǎo)，市場化運作”的原則，保險公司提供保險，新材料生產(chǎn)企業(yè)可以根據(jù)自身生產(chǎn)經(jīng)營實際情況自愿投保，生產(chǎn)企業(yè)和新材料產(chǎn)品用戶企業(yè)共同受益。符合條件的投保企業(yè)，可申請中央財政保費補貼資金。首批次機制由工業(yè)和信息化部、財政部、保監(jiān)會聯(lián)合建立并逐步開展試點。除此之外，肖勁松進(jìn)一步解釋了首批次的概念和需要符合的條件。

他還表示，在2017年首批次機制所涉及到的半導(dǎo)體硅材料項目共55個，占項目總數(shù)的22.54%，共涉及到14家企業(yè)和9種材料，其中電子級多晶硅1項、電子膠有機硅材料12項、液晶玻璃基板4項、無堿玻璃基板11項、高鋁硅酸鹽蓋板玻璃12項、偏光片12項、濾光片1項、碳化硅外延片4項、8.5代TFT-LCD玻璃基板1項。

國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)產(chǎn)業(yè)研究與咨詢總監(jiān)馮莉的發(fā)言以“全球半導(dǎo)體制造及硅材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展”為題，向與會者展示了半導(dǎo)體硅材料產(chǎn)業(yè)的多組權(quán)威統(tǒng)計數(shù)據(jù)。她表示，理清全球半導(dǎo)體細(xì)分市場基本情況，有助于大家更深入、更清晰地了解半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀，從2017年全球半導(dǎo)體細(xì)分市場增長率來看，存儲芯片的增長率最高，達(dá)到了60%，其余各項分別為傳感器、邏輯芯片、分立器件、模擬芯片、光電器件以及處理芯片。從下游應(yīng)用終端來看，智能手機、PC和工業(yè)仍然是目前最大的硅片市場，三者占到全球硅片市場總需求的50%。而具體到芯片種類，存儲器和邏輯芯片占到了目前300mm硅片市場80%的市場份額。

馮莉指出，2018年半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)支出可望連續(xù)四年增長，中國2017年設(shè)備投資仍然穩(wěn)居第三位，占全球15%的市場，然而中國本地的設(shè)備供應(yīng)鏈仍然不足5%，亟待國內(nèi)同行作出不懈努力。

馮莉強調(diào)，硅片是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，在半導(dǎo)體上游材料市場中硅片成本占比最高，市場規(guī)模保持高速增長，下游需求旺盛，拉動全球硅片出貨量持續(xù)增長，預(yù)計全產(chǎn)業(yè)景氣周期將持續(xù)到2021年。國內(nèi)多晶硅正由光伏級邁向電子級，中國企業(yè)要牢牢抓住產(chǎn)業(yè)的黃金發(fā)展期，打贏提質(zhì)提速攻堅戰(zhàn)。

青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司副總經(jīng)理秦榕作了題為“國產(chǎn)半導(dǎo)體級硅材料發(fā)展路徑探討”的發(fā)言，她指出，公司半導(dǎo)體級硅材料的生產(chǎn)理念主要由四大部分組成，一是先進(jìn)的設(shè)計工藝和質(zhì)量指標(biāo)，主要是指其產(chǎn)品設(shè)計按照電子級來實施，施主雜質(zhì)小于0.05ppba，受主雜質(zhì)小于0.03ppba，體金屬雜質(zhì)小于2ppbw;二是使用專用材料和設(shè)備，按照潔凈生產(chǎn)規(guī)范和潔凈施工規(guī)范進(jìn)行生產(chǎn)和施工，所使用的設(shè)備自動化水平高;三是建立完備的質(zhì)量管理體系;四是注重環(huán)保和使用閉式循環(huán)，使得多晶硅副產(chǎn)物綜合利用率達(dá)到98%，水系統(tǒng)循環(huán)利用率達(dá)到99%。

秦榕介紹，公司建有實驗室，努力提高多晶硅質(zhì)量檢測水平，檢測過程中的檢測參數(shù)包括電阻率、少數(shù)載流子壽命、施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì)、碳氧雜質(zhì)、基體金屬雜質(zhì)、表面金屬雜質(zhì)等，實驗室獲得了CNAS認(rèn)可。

江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司總經(jīng)理田新的發(fā)言題目是“電子級多晶硅的市場與實踐”。他在發(fā)言中首先向與會者介紹了鑫華半導(dǎo)體的發(fā)展歷程及未來展望，并介紹了公司生產(chǎn)硅料供需的具體情況。他強調(diào)，電子級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)對于污染的容忍和糾錯能力極低，通過對老裝置進(jìn)行改造無法滿足純度的需求，必須從設(shè)計源頭開始，建設(shè)全新的生產(chǎn)體系，才能生產(chǎn)出合格的電子級多晶硅產(chǎn)品。

據(jù)報道，江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司已經(jīng)成功量產(chǎn)純度要求達(dá)到99.999999999%的電子級多晶硅，在在經(jīng)過一系列嚴(yán)格驗證、檢測之后，不但供應(yīng)給國內(nèi)市場，還出口到了韓國。這標(biāo)志著，我國半導(dǎo)體集成電路用硅料已經(jīng)達(dá)到國際一流質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，這也是我國多晶硅制造企業(yè)首次向國際市場出口集成電路用高純度硅料。過去中國基本完全依賴進(jìn)口。

電子級多晶硅材料是集成電路的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，也是純度最高的多晶硅材料。太陽能級多晶硅的純度要求只有99.9999%，電子級則多了五個9。更形象地說，5000噸電子級多晶硅里的雜質(zhì)含量，只有大約6克，相當(dāng)于一枚1元硬幣的重量。2015年12月，鑫華半導(dǎo)體由國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資38億元，建設(shè)國內(nèi)首條5000噸半導(dǎo)體集成電路專用電子級多晶硅生產(chǎn)線，2017年11月8日正式發(fā)布電子級多晶硅產(chǎn)品。

目前，該電子級多晶硅已通過客戶驗證，并形成規(guī)?；N售，打破長期以來國外高純度材料壟斷，填補該產(chǎn)業(yè)國內(nèi)技術(shù)空白。鑫華半導(dǎo)體的電子級多晶硅產(chǎn)能可保證國內(nèi)企業(yè)3-5年內(nèi)不缺貨，產(chǎn)品質(zhì)量滿足40nm工藝及以下極大規(guī)模集成電路用300mm尺寸單晶制造需求，同時還將規(guī)劃再上一條5000噸生產(chǎn)線，更好地滿足國際國內(nèi)市場。

除此之外，發(fā)言嘉賓還有：中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會支撐分會/集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟秘書長石瑛、北京盛世宏明投資基金管理有限公司(盛世投資)執(zhí)行董事何新宇、上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司聯(lián)合CEO李煒、有研半導(dǎo)體材料股份有限公司副總經(jīng)理劉斌、天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司副總工程師張雪囡、浙江晶盛機電股份有限公司銷售副總裁石剛、北京屹唐半導(dǎo)體科技有限公司中國區(qū)市場發(fā)展總監(jiān)沈紅。本次研討會是2018中國集成電路產(chǎn)業(yè)促進(jìn)大會開設(shè)的五大主題研討會之一，半導(dǎo)體硅材料產(chǎn)業(yè)百余名技術(shù)專家、企業(yè)管理者和從業(yè)人員參與此次研討會，共話產(chǎn)業(yè)發(fā)展機遇，共繪產(chǎn)業(yè)騰飛藍(lán)圖。